南京中电熊猫8.5代线液晶显示面板生产线已建成并于3月顺利投产，成为继夏普之后全球第二个、我国第一个实现IGZO液晶显示面板大规模量产的企业。奥维云网（AVC）预测，中电熊猫IGZO面板投入市场后，将会使得全球高分辨率、低功耗显示面板市场的竞争更加激烈。本文将对中电熊猫所使用的CAAC-IGZO技术优势及制备方式进行详细解密。根据奥维云网（AVC）调研，中电熊猫8.5代线IGZO液晶显示面板生产线是全球第一条采用IGZO技术、以生产超高分辨率、中小屏为主的新建8.5代线，总产能为60K/月，IGZO技术是由夏普提供。全球其他面板厂商也有IGZO的量产规划，例如三星和L已在小批量生产IGZO面板；京东方已经完成IGZO量产技术开发，并分别在合肥8.5代线和重庆8.5代线规划30K/月产能生产IGZO面板。IGZO技术被视为下一代显示面板的基板技术首选。从下图可以看出，传统a-Si由于迁移率低，无法实现高分辨率，难以跟上显示面板发展的步伐；LTPS迁移率最高，可实现分辨率最高，但因其需要高温结晶工艺，目前尚无法对应6代线以上量产。而IGZO技术既可实现高分辨率，又可对应各级别世代线量产，成为各大面板厂商开发的热点。
有别于其他厂商研发的a-IGZO（amorphous IGZO,非晶态IGZO）技术，夏普和中电熊猫采用的是C轴结晶（c-axis aligned crystalline，以下简称CAAC）IGZO技术。CAAC是介于纳米结晶和单晶之间的一种结晶氧化物，可以观察到其c轴具有结晶取向，a轴和b轴没有结晶取向。和a-IGZO相比，CAAC-IGZO稳定性更好。
CAAC-IGZO技术是由夏普和日本半导体能源所共同开发并推向量产的。CAAC和a-IGZO一样需要使用sputter设备溅射成膜，制备CAAC时需要将基板加热成300°C左右，并在高真空和高power条件下制备成膜，并且在成膜时要极力减少设备里面的H元素，这样才能制得膜质较硬的高纯度CAAC膜。
CAAC和非晶态IGZO一样具有较低的漏电流，可以实现低频驱动以降低面板功耗。因此，奥维云网（AVC）分析认为：IGZO低频驱动技术将会对显示面板高分辨率、低功耗方向的发展起到巨大的推动作用。
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